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公表論文> 論文> Investigation of Substrate-dependent Characteristics of SnO2 Thin Films with Hall Effect, X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron Spectroscopy and Atomic Force Microscopy Measurements

英語タイトル Investigation of Substrate-dependent Characteristics of SnO2 Thin Films with Hall Effect, X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron Spectroscopy and Atomic Force Microscopy Measurements
著者
  1. Byeongdeok Yea
  2. Hajime Sasaki
  3. Tomoyuki Osaki（尾崎 知幸）
  4. Kazunori Sugahara（菅原 一孔）
  5. Ryousuke Konisi（小西 亮介）
論文誌 Japanese Journal of Applied Physics
巻 38
号 4A
ページ pp. 2103-2107
出版年 1999年4月
概要 薄膜ガスセンサーは様々な分野で実用化されているが，そのガス検知感度の向上は課題として残されている．本報告では基盤材料にガラス板とセラミック板を用いて開発したガスセンサーの感度特性について検討している．その結果，セラミック板を用いたものの方が感度特性は向上することと，その理由について検討を加えている．
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