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公表論文> 論文> Analysis of the Sensing Mechanism of Tin Dioxide Thin Film Gas Sensors Using the Change of Work Function in Flammable Gas Atmosphere

英語タイトル Analysis of the Sensing Mechanism of Tin Dioxide Thin Film Gas Sensors Using the Change of Work Function in Flammable Gas Atmosphere
著者
  1. Byeongdeok Yea
  2. Ryousuke Konisi（小西 亮介）
  3. Tomoyuki Osaki（尾崎 知幸）
  4. S. Abe
  5. H. Tanioka
  6. Kazunori Sugahara（菅原 一孔）
論文誌 Proceedings of the 13th International Vacuum Congress (IVC-13)
巻
号
ページ p. 467
出版年 1995年9月
概要 SnO2薄膜に各種ガスが吸着することにより, 薄膜中の抵抗変化が変化する．この現象を利用してガスセンサは開発されているが, 本論文では薄膜の仕事関数に着目して, 抵抗変化の機構の解明を行っている.
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