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公表論文> 論文> SnO2薄膜のガス検知機構についての考察

日本語タイトル SnO2薄膜のガス検知機構についての考察
著者
  1. Syou Abe（阿部 暁）
  2. Hiroaki Tanioka（谷岡 裕明）
  3. Byeongdeok Yea
  4. Tomoyuki Osaki（尾崎 知幸）
  5. Kazunori Sugahara（菅原 一孔）
  6. Ryousuke Konisi（小西 亮介）
論文誌 真空
巻 38
号 3
ページ pp. 135-138
出版年 1995年3月
概要 SnO2薄膜に各種ガスが吸着することにより, 薄膜中の抵抗変化が変化する．この現象を利用してガスセンサは開発されているが, 本論文では薄膜のホール移動度とキャリア濃度の変化に着目して, 抵抗変化の機構の解明を行っている.
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