英語タイトル | Analysis of the sensing mechanism of tin dioxide thin film gas sensors using the change of work function in flammable gas atmosphere |
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著者 | |
論文誌 | Applied Surface Science |
巻 | 100 |
号 | 101 |
ページ | pp. 365-369 |
出版年 | 1996年12月 |
概要 | SnO2薄膜に各種ガスが吸着することにより, 薄膜中の抵抗変化が変化する.この現象を利用してガスセンサは開発されているが, 本論文では薄膜の仕事関数に着目して, 抵抗変化の機構の解明を行っている. |
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