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タイトル（英語） Analysis of the sensing mechanism of tin dioxide thin film gas sensors using the change of work function in flammable gas atmosphere
著者
  1. Byeongdeok Yea
  2. Ryousuke Konisi（小西 亮介）
  3. Tomoyuki Osaki（尾崎 知幸）
  4. S. Abe
  5. H. Tanioka
  6. Kazunori Sugahara（菅原 一孔）
論文誌 Applied Surface Science
巻 100
号 101
ページ pp. 365-369
発行日 1996年12月
概要（英語） SnO2薄膜に各種ガスが吸着することにより, 薄膜中の抵抗変化が変化する．この現象を利用してガスセンサは開発されているが, 本論文では薄膜の仕事関数に着目して, 抵抗変化の機構の解明を行っている.
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