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タイトル（日本語） 接触電位差法によるＳｎＯ２薄膜ガスセンサのセンシング機構解析
著者
  1. Byeongdeok Yea
  2. Ryousuke Konisi（小西 亮介）
  3. Tomoyuki Osaki（尾崎 知幸）
  4. Kazunori Sugahara（菅原 一孔）
論文誌 センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会
巻
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出版年 1997年1月
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